廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-06-06

泄漏檢測傳感器閾值設(shè)為 50ppm（職業(yè)接觸限值），超過時設(shè)備自動停機(jī)并啟動負(fù)壓抽排，同時發(fā)送報警短信至責(zé)任人。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的設(shè)備在維護(hù)門處增設(shè)雙重密封膠條，泄漏率≤0.01mL/min。

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